PRODUCT CLASSIFICATION
產品分類技術文章/ Technical Articles
MFC專用內聯監視器IM-10該產品為質量流量控制器的檢測裝置，檢測范圍包括設定電壓及輸出電壓等電壓狀態。此外，該產品內置耗電量較低的電壓表，可以監控從設備發出的信號、MFC向設備發出的信號是否正常，在故障發生時可及時鎖定故障原因。IM-10連接示例將本儀器連接在質量流量控制器和設備電源之間，或者連接在質量流量控制器和電源設定表示器（RP-310）之間，即可對各種信號、電壓進行檢測。測量功能?電源電壓（±15VDC）?流量設定電壓（0-5VDC）?流量輸出電壓（...
MFC專用電源PS該系列產品是質量流量控制器、質量流量計的±15V專用電源，可最多提供多達9臺MFC/MFM同時使用。該電源支持的電壓范圍為AC85~240V,也可以通過轉接質量流量器的設定信號、輸出信號及閥門啟閉信號進行外部控制。用于3個MFC的PS-203M電源流量設定信號和流量輸出信號通過PS系列從PLC等上級設備通過PS系列電源，將流量設定信號、流量輸出信號輸入到質量流量控制器，PS系列提供±15V電源。數字通訊對于使用PC接口（如LabV...
MFC用電源設定表示器RP-310該產品是一款適用于質量流量控制器和質量流量計的一體化產品。功能包括電源輸入、流量顯示及設定，是進行流量控制所需的獨立設備。您可以根據F.S.更改顯示值。除了顯示流量值（瞬時）外，還可以顯示累積值。RP-310一臺質量流量控制器和一臺RP-310通過專用電纜連接，質量流量控制器由RP-310模擬信號控制。通過PLC(可編程邏輯控制器)等上級設備，借由RP-310，輸入質量流量控制器的設定信號和輸出信號，并將其顯示在RP-310上。規格表電源AC...
電磁控制閥小型汽化器VU-430搭載液體噴嘴和載氣噴嘴的雙流體噴嘴結構高效率汽化器。液體噴嘴和載氣噴嘴（0.05~4SLM）的雙流體噴嘴在汽化室前匯合，以精細地噴灑液體。被微小霧化的液體可以通過輻射熱被高效汽化。汽化室頂部的液體控制閥通過接收液體質量流量計(LM-3000L)的流量信號來調節閥門開度。通過控制流量，可以實現穩定的汽化供給。高效率汽化器VU-430特點高效率汽化維護成本低汽化室附近搭載液體流量控制閥使用范例低蒸氣壓材料的汽化該汽化器搭載最高溫度為200℃的耐熱結...
光刻膠溶液和SOG中的顆粒可以測量0.15μm以上的顆粒可連接到多點監控系統規范光學系統方式橫向散射法光源二極管激光器（波長830nm，額定功率200mW）接液部件材料合成石英，PFA粒度分類0.15μm~0.5μm范圍內的10個級別運輸：0.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm或更高的4個級別額定流量10毫升/分鐘最大顆粒計數濃度1,200單位/mL（計數丟失在5%以內）權力DC12V（由KE-40B1供電）大小約160毫米（水平）×300毫米（寬）×251毫米（深...
光刻膠溶液和SOG中的顆粒可以在0.1μm范圍內測量可連接到多點監控系統規范光學系統方式橫向散射法光源用半導體激光器泵浦的固體激光器（波長532nm，額定功率500mW）接液部件材料合成石英，PFA粒度分類0.1μm~0.5μm范圍內的10個級別（可選0.07μm，用于純水等透明液體）運輸：0.1μm或更高、0.15μm或更高、0.2μm或更高、0.35個≥μm和≥0.5μm的水平額定流量5毫升/分鐘最大顆粒計數濃度9,600單位/mL（計數丟失在10%以內）權力DC12V（...
化學溶液中0.05μm顆粒的測量實現10%的計數效率使用藍寶石電池可以測量氫氟酸等。批量和在線測量的多種選擇規范光學系統方式橫向散射法光源用半導體激光器泵浦的固體激光器（波長532nm，額定功率500mW）接液部件材料藍寶石，PFA粒度分類2至10步，范圍為0.05μm~0.2μm運輸：0.05μm或更高、0.1μm或更高、0.15μm或更高、0.2μm或更高的4個級別額定流量10毫升/分鐘最大顆粒計數濃度30,000個/mL（計數丟失在10%以內）權力DC12V（由KE-4...
化學溶液中0.03μm顆粒的測量最小可測量粒徑：0.03μm使用藍寶石電池可以測量氫氟酸等。批量和在線測量的多種選擇規范光學系統方式橫向散射法光源用半導體激光器泵浦的固體激光器（波長532nm，額定功率800mW）接液部件材料藍寶石，PFA粒度分類2至10個級別，范圍從0.03μm~0.13μm發貨：0.03μm或更高、0.06μm或更高、0.1μm或更高、0.1μm或更高的4個級別額定流量10毫升/分鐘最大顆粒計數濃度40,000單位/mL（計數丟失在10%以內）權力DC1...
化學溶液中0.02μm顆粒的測量最小可測量粒徑：0.02μm使用藍寶石電池可以測量氫氟酸等。批量和在線測量的多種選擇規范光學系統方式橫向散射法光源用半導體激光器泵浦的固體激光器（波長532nm，額定功率1.5W）接液部件材料藍寶石，PFA粒度分類2至7個水平，范圍為0.02μm~0.08μm運輸：0.02μm或更高、0.03μm或更高、0.04μm或更高、0.06μm或更高的4個級別額定流量10毫升/分鐘最大顆粒計數濃度50,000個/mL（計數丟失在10%以內）權力交流10...
汽化器(直接汽化法)用液體質量流量計測量質量及流量，采用后置汽化器將對全部液體進行汽化的方式。直接汽化法的基本原理汽化器直接汽化法流程圖直接汽化法使用液體質量流量計進行質量測量，并通過汽化器內置的控制閥將流量控制后的液體連續引入汽化室。在汽化室中，液體被瞬間汽化。雖然所控制的是液體，但瞬間汽化后的氣體質量不會改變，因此，如果是可以瞬間連續汽化的汽化器，液體主要的質量流量=汽化器出口處的氣體質量流量。由于汽化濃度的要素由MFC直接控制，因此穩定性，可進行高濃度汽化，這是鼓泡法難...
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